[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-2] 無機色材を用いたプラズマインジケータのN₂プラズマに対する変色挙動の調査

〇平山 奈津美¹、浅見 綾香¹、山川 裕¹、大城 盛作¹、釆山 和弘¹ (1.サクラクレパス)

キーワード：プラズマインジケータ、N2プラズマ、変色

我々は、プラズマ中のラジカルやイオンにより変色するプラズマ処理の評価ツール「プラズマインジケータ」を提案している。今回、無機色素を用いたインジケータのN₂プラズマに対する変色挙動を調査した結果、目視ではArプラズマと同様の変色が見られたが、色度測定では変色時の色相が異なり、ArプラズマとN₂プラズマで色材に対して異なる現象が起こっていることが示唆された。本発表では、これらの詳細について報告を行う。