[17p-A401-1~15] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[17p-A401-15] 学術論文から薄膜合成最適プロセス条件を抽出する

〇小林 成¹、桑代 法和²、伊藤 史朗²、桜井 大²、一杉 太郎^1,3 (1.東工大物質理工、2.長瀬産業、3.東大院理)

キーワード：自然言語処理、薄膜合成、プロセスインフォマティクス

物質合成実験の自動・自律化技術の発展が著しい。それに伴い合成探索空間が拡大し、探索を始める際に事前に「当たり」をつけることが重要になる。そこで我々は、学術論文の自然言語処理とグラフ構造化を組み合わせ、目的とする物性や物質を得るための合成条件を機械的に抽出するシステムを構築している。本研究では、電気伝導性薄膜であるNbドープTiO₂薄膜を題材として、適切な薄膜合成条件の抽出に成功したので報告する。