[17p-A405-1~14] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [17p-A405-10] フィードバック制御によるガラス表面へのフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造の安定形成

〇長井 大輔^1,2、高田 英行²、奈良崎 愛子²、宮地 悟代¹ (1.東京農工大、2.産総研)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、ナノ周期構造、インプロセスモニタリング

これまで合成石英基板表面にフェムト秒レーザーにより形成したサブ波長周期のナノ周期構造を有する部分では表面反射率が減少、透過率は増加することを実証し、インプロセス観測手法の可能性を示した。この観測手法を用いてレーザー加工中にリアルタイムでレーザーパワーをPID制御することにより、欠損部分をPID制御しない場合と比較して約5分の1まで低減することに成功し、ナノ周期構造の安定形成ができることを初めて実証した。