[17p-A405-1~14] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

△ [17p-A405-2] Formation of novel two-dimensional periodic surface nanostructures on titanium by GHz burst mode femtosecond laser pulses

〇Shota Kawabata^1,2, Shi Bai^1,3, Kotaro Obata¹, Godai Miyaji², Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of Agri. & Tech., 3.Hebei Univ. of Sci. & Tech.)

Keywords:Laser-Induced Periodic Surface Structures (LIPSS), GHz burst mode, femtosecond laser

我々は、高効率・高品質な材料加工が期待されているGHzバーストモードフェムト秒レーザー加工をSi基板のレーザー誘起表面周期構造（LIPSS）形成へ拡張し、従来のフェムト秒レーザー（シングルパルスモード）で形成されるLIPSSとは大きく異なる2次元LIPSSを形成することを初めて見出した。また、幅広い用途で利用されている金属材料であるTiにおいてもGHzバーストモードを用いることにより、シングルパルスモードで形成されるLIPSSとは異なる新奇なLIPSSを形成できることを明らかにした。本研究では、Ti表面にGHzバーストパルスで形成される新奇表面微細構造の加工パラメータの依存性および最適化、物理的メカニズム、表面に付与される機能についてさらなる検討を行った。