[17p-B414-1~15] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [17p-B414-1] 平板上で相対運動するPVAブラシノジュールの変形及び接触軌跡解析

〇(M1C)鈴木 翔大¹、水嶋 祐基¹、濱田 聡美²、小篠 諒太²、福永 明²、真田 俊之¹ (1.静大工、2.荏原製作所)

キーワード：CMP後洗浄、PVAブラシ

本研究では，post-CMP洗浄に用いられるPVAブラシ洗浄の効率化に向け，PVAブラシが表面に接触し変形するの際のブラシからの液体の移動に着目し検討を行った．実験では鉛直軸を中心に回転するウェハ上で，水平軸を中心に回転するブラシの相対運動を再現し，ブラシとウェハ接触時のブラシ変形及び接触軌跡を解析した.