[17p-B414-1~15] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[17p-B414-3] TMAH水溶液を用いた平坦化Ge(111)表面の作製

〇松尾 一輝¹、鈴木 仁¹、坂上 弘之¹ (1.広島大先進理工)

キーワード：Ge、AFM、平坦化