[17p-D505-1~11] 1.6 Ultrasonics

[17p-D505-1] [The 53rd Young Scientist Presentation Award Speech] Resonance properties of shear-horizontal SAW on Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄ at high temperature

〇Ryoto Suzuki¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Noritoshi Kimura² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Piezo Studio Inc.)

Keywords:Ca3TaGa3Si2O14, shear-horizontal surface acoustic wave

Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄(CTGS)は 1,350°Cの融点まで圧電性が消失しないため，高温環境下で動作可能なSAWセンサの実現が期待できる．前報では，CTGS上にAu-IDTを用いて作製したラブ波型Shear-Horizontal(SH)波共振子の500°Cまでの共振特性を評価した結果について報告した．本報告では，さらに高温の600°Cまでの共振特性を実験的に評価した結果，CTGSの弾性定数二次温度係数を算定し，任意のカット角の周波数温度変化を計算した結果について報告する．