[17p-D519-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

[17p-D519-6] 自己組織化単分子膜によるAuナノシートの温度分布計測

〇(DC)加藤 太朗¹、田中 貴久¹、宮岸 拓路²、寺尾 潤²、内田 建¹ (1.東大工、2.東大総文)

キーワード：ケルビンプローブフォース顕微鏡、自己組織化単分子膜、ナノシート

今回，我々デバイス表面への分子修飾およびケルビンプローブフォース顕微鏡を用いてナノスケールの温度を計測する方法を提案する．Auナノシート表面にチオールSAMを修飾し，ジュール加熱前後の表面電位を取得することで，デバイス動作時の温度を推定した．