2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

[17p-E502-1~9] withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

2023年3月17日(金) 13:30 〜 17:00 E502 (12号館)

後藤 正英(NHK技研)、竹下 俊弘(産総研)、島村 俊重(NTT)