[17p-E502-1~9] withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

[17p-E502-8] MEMSドップラーセンサとそのヘルスケアへの応用

〇澤田 廉士¹ (1.Palmens株式会社)

キーワード：MEMS、ドップラーセンサ

MEMS技術を用いて開発された，レーザの可干渉性の利用に基づいた，2種類のマイクロドップラーセンサについて述べる。一つは，左右両方向から出射された２つの光ビームの散乱反射光のドップラーシフトを受けた干渉光のビート信号を検出し，その散乱物体の絶対速度を測定するセンサで，もう一つは反射散乱光の干渉の結果発生するスペックルパターン挙動の数学的確率を適用した，装着方向に依存しない，高感度のセンサである。