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[17p-E502-8] MEMSドップラーセンサとそのヘルスケアへの応用
キーワード:MEMS、ドップラーセンサ
MEMS技術を用いて開発された,レーザの可干渉性の利用に基づいた,2種類のマイクロドップラーセンサについて述べる。一つは,左右両方向から出射された2つの光ビームの散乱反射光のドップラーシフトを受けた干渉光のビート信号を検出し,その散乱物体の絶対速度を測定するセンサで,もう一つは反射散乱光の干渉の結果発生するスペックルパターン挙動の数学的確率を適用した,装着方向に依存しない,高感度のセンサである。