2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

[17p-E502-1~9] withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

2023年3月17日(金) 13:30 〜 17:00 E502 (12号館)

後藤 正英(NHK技研)、竹下 俊弘(産総研)、島村 俊重(NTT)

16:25 〜 16:55

[17p-E502-8] MEMSドップラーセンサとそのヘルスケアへの応用

澤田 廉士1 (1.Palmens株式会社)

キーワード:MEMS、ドップラーセンサ

MEMS技術を用いて開発された,レーザの可干渉性の利用に基づいた,2種類のマイクロドップラーセンサについて述べる。一つは,左右両方向から出射された2つの光ビームの散乱反射光のドップラーシフトを受けた干渉光のビート信号を検出し,その散乱物体の絶対速度を測定するセンサで,もう一つは反射散乱光の干渉の結果発生するスペックルパターン挙動の数学的確率を適用した,装着方向に依存しない,高感度のセンサである。