[17p-PA03-1~3] 1.5 計測技術・計測標準

[17p-PA03-1] UVCセンサ用蛍光体の表面加工による検出感度の改善

〇(M1)人見 杏実¹、勝亦 徹^1,2、相沢 宏明¹ (1.東洋大院理工、2.東洋大工技研)

キーワード：深紫外線センサ、蛍光、表面

三角屋根状、四角錐状に表面加工した赤色蛍光アクリル板と可視近赤外用のSi-PDを組み合わせた蛍光増強フォトダイオード(Fluorescence-enhanced Si-PD : FE-PD)を使用してUVCを測定した。三角屋根状や四角錐状に表面加工することで高感度にUVCを測定することができた。