[17p-PA03-1~3] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[17p-PA03-3] Investigation of high-accuracy temperature measurement using MEMS infrared sensor

〇Moe Sakaguchi¹, Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metropolitan Univ.)

Keywords:infrared sensor, temperature, accuracy

赤外線放射温度計は非接触で温度を測定する有効な方法であり、最近では体温測定でも多く利用されている。しかし赤外線温度計測には、外気温、測定部位表面での赤外線の反射などの様々な要因より高精度化に課題がある。一方、最近ではMEMS技術の導入によるサーモパイル型の赤外線センサの高性能化も進んでいる。そこで本研究では、MEMS赤外線センサを用いて、温度測定に影響を与えている外部要因とその軽減方法について検討した。