[17p-PA03-1~3] 1.5 計測技術・計測標準

[17p-PA03-3] MEMS赤外線センサを用いた高精度温度測定の検討

〇阪口 萌生¹、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大工)

キーワード：赤外線センサ、温度、精度

赤外線放射温度計は非接触で温度を測定する有効な方法であり、最近では体温測定でも多く利用されている。しかし赤外線温度計測には、外気温、測定部位表面での赤外線の反射などの様々な要因より高精度化に課題がある。一方、最近ではMEMS技術の導入によるサーモパイル型の赤外線センサの高性能化も進んでいる。そこで本研究では、MEMS赤外線センサを用いて、温度測定に影響を与えている外部要因とその軽減方法について検討した。