[17p-PA05-1~3] 3.14 Silicon photonics and integrated photonics (formerly 3.15)

[17p-PA05-1] Fabrication of all dielectric Si nanoprisms.

〇Yuichi Makino¹, Kanta Motizuki¹, Atsushi Sugita¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:Silicon photonics, Mie resonance, Nano fabrication

本発表ではSi基板上に正三角柱プリズム状Siナノ粒子(SiNP)構造をナノ加工した結果について報告する。全誘電体型SiNPはミー共鳴効果に伴う強い光閉じ込め効果により粒子内に高密度な光電場を生じる。この高密度な光電場は非線形光学のための微小光源としても有用である。本研究では将来の二次非線形動作への応用を目指し、反転中心の破れた正三角柱プリズム形状のSiNPを製作した結果について報告する。