[17p-PA06-1~14] 6.1 Ferroelectric thin films

[17p-PA06-14] Synthesis of c-axis oriented AlN thin film on titanium cantilever for high output of piezoelectric vibratory energy harvesters

〇(B)Tomoya Nagao¹, H. H. Nguyen², Hiroki Kuwano², Hiroyuki Oguchi¹ (1.Shibaura Tech, 2.Tohoku Univ. NICHe)

Keywords:piezoelectric vibrating energy harvesters, aluminum nitride, polishing

圧電振動型エナジーハーベスタは、圧電現象を利用して微小な振動エネルギーから電気を作り出すデバイスである。従来、圧電体の変位を決定する構造体は破壊靭性が高くない単結晶Siでできていることが多く、圧電体の発電性能を完全には引き出せていなかった。そこで本研究では、単結晶Siよりも7倍程度の破壊靭性を示すチタン(Ti)基板の上に、発電性能指数の高いc軸配向性AlN薄膜を成長することに挑戦した。