[17p-PA06-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PA06-14] 圧電振動型エナジーハーベスタの大出力化を目指したチタン片持ち梁上のc軸配向性AlN薄膜合成

〇(B)長尾 知哉¹、H. H. Nguyen²、桑野 博喜²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工、2.東北大NiCHe)

キーワード：圧電振動型エナジーハーベスタ、AlN、研磨

圧電振動型エナジーハーベスタは、圧電現象を利用して微小な振動エネルギーから電気を作り出すデバイスである。従来、圧電体の変位を決定する構造体は破壊靭性が高くない単結晶Siでできていることが多く、圧電体の発電性能を完全には引き出せていなかった。そこで本研究では、単結晶Siよりも7倍程度の破壊靭性を示すチタン(Ti)基板の上に、発電性能指数の高いc軸配向性AlN薄膜を成長することに挑戦した。