[17p-PA07-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-PA07-7] 窒素含有によるDLCの酸素還元反応の向上

〇(M1)松崎 充晃¹、長谷部 伸一¹、長谷川 和¹、山口 朝輝¹、渡辺 千也¹、向山 義治¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.東京電機大学)

キーワード：非晶質炭素膜