2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[17p-PA08-1~7] 6.5 表面物理・真空

2023年3月17日(金) 13:30 〜 15:30 PA08 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[17p-PA08-4] 真空蒸着法におけるフッ素系有機膜表面からの高効率金属原子脱離―脱離の支配因子について―

辻岡 強1、日下 初花1 (1.大阪教育大学)

キーワード:金属蒸着選択性、表面自由エネルギー、フッ素系有機表面

フォトクロミック・ジアリールエテン(DAE)膜において、光異性化状態に対応した金属蒸着選択性を報告してきたが、この現象の本質は表面からの金属原子脱離現象である。今回、DAEでは実現しなかったAu、Ag、Cuなど固有蒸気圧の低い金属種で効率的な脱離を生じさせる因子を解明した。表面エネルギーの分散成分が小さいこと、かつ表面分子運動状態が活発か、分子がフレキシブル構造を有することが脱離を起こすのに重要である。