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[18a-A302-1] Ta2O5スパッタ膜の熱刺激電流測定の電極依存性
キーワード:タンタル酸化物、熱刺激電流、電極依存性
タンタル酸化物(Ta2O5)は、抵抗変化素子など多様な利用法が提案されている遷移金属酸化物であり、エレクトロニクスデバイスとしての動作の理解やモデリングのために、トラップ準位の定量的な評価の活用が試みられている。我々は、光励起による熱刺激電流を測定することによりトラップ深さを求めているが、デジタル的な抵抗変化を示すIr電極による測定結果に加えアナログ抵抗変化を示すTiN電極についても測定をおこなったので、その電極金属依存性について発表を行う。