9:45 AM - 10:00 AM
[18a-D209-4] Research of selective gas sensing with semiconducting carbon nanotubes
Keywords:gas sensor, carbon nanotubes, semiconductor
ガラス基材上に半導体CNTを感ガス体とするセンサー素子を作製し、CNTの抵抗変化を測定することによってNH3ガスとNOガスに対するガス応答性を調べた。一方、半導体CNTの下地層としてSnO2ナノ粒子層を形成した素子についてガス応答性への影響を調べた。半導体CNTのみ成膜された素子はNH3ガスとNOガスに応答性を示したが、SnO2ナノ粒子層を下地層とした素子は、NOガスに応答性を示さなくなった。