The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

1 Interdisciplinary Physics and Related Areas of Science and Technology » 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[18a-D209-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

Sat. Mar 18, 2023 9:00 AM - 12:30 PM D209 (Building No. 11)

Nao Terasaki(AIST)

10:00 AM - 10:15 AM

[18a-D209-5] Measurement of trace moisture in He gas using a miniaturized CRDS-based trace-moisture analyzer

Hisashi Abe1, Minami Amano1, Koji Hashiguchi1, Daniel Lisak2, Shinichi Honda3, Tomoki Miyake3 (1.AIST, 2.Copernicus Univ., 3.SHINYEI Technology)

Keywords:humidity, semiconductor

キャビティリングダウン分光法(CRDS)は光共振器を用いた超高感度なレーザー吸収分光法である。さまざまな計測現場でこの手法をより活用しやくするため、私たちはCRDSの小型化の研究を行っている。小型化に伴う課題の一つに分解能の低下があり、これによって線幅の細い吸収線では測定が困難となる。この問題に対応するため、キャビティ長を熱膨張・収縮によって変化させ、共振周波数を周波数軸上で変化させることで分解能を向上させた。