[18a-D209-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[18a-D209-4] Research of selective gas sensing with semiconducting carbon nanotubes

〇Takayoshi Hirai¹, Nobuhiro Watanabe¹, Tomohiro Kato¹, Seiichiro Murase¹ (1.Toray)

Keywords:gas sensor, carbon nanotubes, semiconductor

ガラス基材上に半導体CNTを感ガス体とするセンサー素子を作製し、CNTの抵抗変化を測定することによってNH₃ガスとNOガスに対するガス応答性を調べた。一方、半導体CNTの下地層としてSnO₂ナノ粒子層を形成した素子についてガス応答性への影響を調べた。半導体CNTのみ成膜された素子はNH₃ガスとNOガスに応答性を示したが、SnO₂ナノ粒子層を下地層とした素子は、NOガスに応答性を示さなくなった。