10:15 AM - 10:30 AM
[18a-D209-6] Performance evaluation of rapid-scan CRDS trace-moisture analyzer
Keywords:cavity ring-down spectroscopy, humidity, trace moisture
レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する高速スキャンCRDS微量水分計を開発し、10 ppb〜5 ppmのN2中微量水分の測定性能を標準に基づいて評価した。本発表では、高速スキャンCRDS微量水分計の概要、標準値と測定値の詳細な比較、周波数掃引条件の最適化などについて述べる。