[18a-D209-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[18a-D209-6] Performance evaluation of rapid-scan CRDS trace-moisture analyzer

〇MINAMI AMANO¹, Hisashi Abe¹, Norihiko Nishizawa², Hideki Tomita² (1.AIST, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:cavity ring-down spectroscopy, humidity, trace moisture

レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する高速スキャンCRDS微量水分計を開発し、10 ppb〜5 ppmのN₂中微量水分の測定性能を標準に基づいて評価した。本発表では、高速スキャンCRDS微量水分計の概要、標準値と測定値の詳細な比較、周波数掃引条件の最適化などについて述べる。