[18a-D511-1~10] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[18a-D511-3] Large-scale Integration of Cavity-free Micro Thermoelectric Device (2) Scaling Effect

〇Shuhei Arai¹, Masayuki Mishima¹, Tsubasa Kashizaki¹, Takumi Hoshina¹, Takeo Matsuki^1,2, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:Thermoelectric generator, Silicon wire, Scaling

Siナノワイヤ(Si-NW)を利用した集積マイクロ熱電デバイスにおいて、シミュレーション及び単段デバイスからSi-NW長を短くすると発電密度が向上するスケーリング効果が予測されている。本研究では実際に集積デバイスを作製しスケーリング効果を検証した。その結果Si-NW長が短くなると発電密度が向上することを初めて集積デバイスで確認しスケーリング効果を実証した。本結果はSi-NWを利用した熱電デバイスの構造設計の指針となるものである。