09:30 〜 09:45 [18a-D511-3] キャビティフリー・マイクロ熱電デバイスの大規模集積化(2) スケーリング効果 〇新井 崇平1、三嶋 真雄紀1、柏崎 翼1、保科 拓海1、松木 武雄1,2、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.産総研)