[18a-D511-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[18a-D511-3] キャビティフリー・マイクロ熱電デバイスの大規模集積化(2) スケーリング効果

〇新井 崇平¹、三嶋 真雄紀¹、柏崎 翼¹、保科 拓海¹、松木 武雄^1,2、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.産総研)

キーワード：熱電発電、シリコンワイヤ、スケーリング

Siナノワイヤ(Si-NW)を利用した集積マイクロ熱電デバイスにおいて、シミュレーション及び単段デバイスからSi-NW長を短くすると発電密度が向上するスケーリング効果が予測されている。本研究では実際に集積デバイスを作製しスケーリング効果を検証した。その結果Si-NW長が短くなると発電密度が向上することを初めて集積デバイスで確認しスケーリング効果を実証した。本結果はSi-NWを利用した熱電デバイスの構造設計の指針となるものである。