[18p-A202-1~8] CS.6 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェアセッション

[18p-A202-5] 炭素ナノウォール構造体の電界放出特性と電界分布シミュレーション

〇原尻 駿吾¹、Huang Lei¹、堤井 君元¹ (1.九大総理工)

キーワード：プラズマCVD

中間気圧マイクロ波プラズマ化学気相蒸着法により炭素ナノウォールを作製し、電界放出特性を調べた。炭素ナノウォールに電界を印加した際の電界強度分布をシミュレーションにより調べた。ウォール間隔、ウォールの先端形状、ウォールの高さ等を変化させた場合の電界強度分布を調べ、実験で得られた電界放出特性との比較を行った。