[18p-A202-1~8] CS.6 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェアセッション

△ [18p-A202-6] ダイヤモンドナノ粒子で修飾したナノウォール構造体の電界放出特性と電界分布シミュレーション

〇原尻 駿吾¹、Huang Lei¹、堤井 君元¹ (1.九大総理工)

キーワード：プラズマCVD

マイクロ波プラズマ化学気相蒸着（MPCVD）法により作製した炭素ナノウォール上へ、ダイヤモンドナノ粒子をシーディングし、さらにMPCVDを短時間施し、ナノウォール／ナノ粒子構造体を作製した。実験で得られた電界放出特性と、シミュレーションによる電界強度分布の比較・検討を行い、ナノ粒子修飾により電界放出特性が向上する機構を明らかにした。