[18p-A205-1~5] 8.5 Plasma phenomena, emerging area of plasmas and their new applications

[18p-A205-2] Calculation of electron velocity distribution function in RF electric fields using Physics-Informed Neural Network

〇Satoru Kawaguchi¹, Kazuhiro Takahashi¹, Kohki Satoh¹ (1.Muroran I. T.)

Keywords:Machine learning, EVDF

RF電界下における周期的な定常状態のEVDFを求める方法を提案する。ここでは，人工ニューラルネットワーク(ANN)によってEVDFを表現し，ANNが表現するEVDFがボルツマン方程式(BEq)を満たすように学習を行う。あらかじめANNの出力に周期性を持たせることにより，多数のRFサイクルを解くことなく，BEqの周期的な定常解が得られる点が提案方法の特長である。この方法によって得られたEVDFから計算される電子輸送係数はモンテカルロ法による計算値と一致し，提案方法の妥当性が確認された。