[18p-A401-1~13] 23.1 Joint Session N "Informatics"

[18p-A401-7] Machine learning for semiconductor process simulation described by coupled differential equation

Rikuya Sato¹, 〇Kentaro Kutsukake^2,3, Shunta Harada^1,3, Miho Tagawa^1,3, Toru Ujihara^1,3 (1.Grad. Sch. Eng., Nagoya Univ., 2.AIP, RIKEN, 3.IMaSS, Nagoya Univ.)

Keywords:machine learning, semiconductor process, process simulation

本研究では、教師データに加えて、多くの物理現象が連立微分方程式で記述されるという知見を利用して、機械学習による物理現象の予測精度を向上させることを試みた。物理現象の例として半導体中の不純物拡散反応を取り上げ、数値解法でデータを作成した。