[18p-A405-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[18p-A405-5] レーザー穴加工におけるレーザー生成音を用いたレンズ位置制御

〇早崎 芳夫¹、三浦 拓真¹、熊谷 幸汰¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：計算機ホログラフィ、超音波、インターポーザ

本研究では，レーザー穴加工における，レーザー生成音の音圧を変数として，対物レンズの位置を制御し，穴の深さと形状，加工速度を指標として，その加工特性を評価する．