[18p-B401-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18p-B401-8] 超高温MOVPEを用いたAlGaN成長

〇富田 敦之¹、宮川 拓己¹、平山 秀樹^2,3、髙島 祐介^1,2、直井 美貴^1,2、永松 謙太郎^1,2 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED研、3.理研)

キーワード：窒化アルミニウムガリウム、結晶成長、高温