[18p-B409-1~12] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[18p-B409-10] 上下電極に塗布形成したCNTを使用した全塗布型ポリイミド静電容量型湿度センサの作製

〇(M1)井口 丞太郎¹、伊東 栄次¹ (1.信州大工)

キーワード：湿度センサ、カーボンナノチューブ

従来の静電容量湿度センサは下部電極にITOを用いており、高速応答のため感湿膜を薄くしていくと除湿時の応答時間が加湿時に比べ長くなるという問題が起こった。これはITOが親水性であり、電極界面に水の膜が出来たことが原因だと考えた。本研究では下部電極に撥水処理したCNTを用いることで、上下両方の電極に塗布形成したCNTを使用した全塗布型のポリイミド静電容量センサを作製し、除湿時の応答の改善を試みた。