[18p-E102-1~13] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [18p-E102-10] IrOx薄膜を用いた溶存酸素イメージセンサの提案と評価

〇岩土 遼介¹、上田 玲奈¹、堀尾 智子¹、野田 佳子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、土井 英生¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大工)

キーワード：溶存酸素

本研究では，3価と4価の異なる安定な状態に繊維可能なIrO_xに着目し，電位検出型アレイセンサ上にIrO_xを成膜した溶存酸素イメージセンサを製作し，溶存酸素(Dissolved Oxygen：DO)に対する応答特性を評価した．製作したDOセンサは，27 mV/log[O₂]ppmのDO応答感度を示し，IrO_x薄膜がDO感応膜として機能することを実証した．電位検出アレイセンサ上にIrO_xを成膜することで液中のDOを，2次元分布として測定可能なイメージングデバイスの作製に成功した．