[18p-E102-1~13] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [18p-E102-12] 複数種の画素を混載した画像出力型CMOSにおいセンサの設計と製作

〇(B)上條 友暉¹、和田 武¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹、野田 俊彦¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：においセンサ、ガスセンサ、CMOSセンサアレイ

本研究では画像出力型CMOSにおいセンサによる複数ガス同時測定を試みている。電位検出画素内センシングトランジスタの閾値調整を、基板バイアス効果の利用とチャネル不純物濃度の調整を利用し設計した。またガス感応膜の抵抗値と膜内電荷密度変化を検出する画素も設計した。これらを混載したアレイセンサの作製によりガス感応膜に生じる変化の同時測定を可能とし，ガスやにおいの計測対象を拡大することを目指した．