[18p-E302-1~11] 12.6 Nanobiotechnology

[18p-E302-3] Reversible control of the graphene oxide thin film structure by electrophoretic deposition using the virtual cathode

〇Tatsuki Nomura¹, Takayuki Hoshino¹ (1.Hirosaki Univ. Grad Sci. Tech.)

Keywords:graphene oxide, electrophoretic deposition, electron beam

任意の位置、形状で負電場を印可できるバーチャル電極を使用した電気泳動堆積により、酸化グラフェンマイクロプレートレット（GOmp）を窒化シリコン（SiN）膜上の任意の位置に堆積させ、任意形状の薄膜製造と3D構造体作成の可能性について検討した。GOmpとSiN膜にそれぞれポリエチレンイミン（PEI）をコーティングすることでゼータ電位を正に変化させ、SiN膜上のVCを印加した部分にのみGOmpを堆積させることを可能にした。