スケジュール 1 14:00 〜 14:15 [3D11] 半導体デバイス作製教材の改良 ○辻 琢人1、長岡 史郎2、若原 昭浩3 (1. 鈴鹿工業高等専門学校、2. 香川高等専門学校、3. 豊橋技術科学大学) キーワード：半導体デバイス作製、作製教材、シリコン太陽電池 これまでに開発した半導体デバイス作製教材に関して，不純物拡散層の熱処理温度及び時間を変化させてSi半導体デバイスを作製し特性の改善を試みた.
