[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-11] Strength control of Silicon MEMS using electron beam induced Silicon nanodots

〇Abbhiraj Singh¹, Shingo Kammachi¹, Takahiro Namazu¹ (1. 京都先端科学大学)

Keywords:Silicon Nanodots、Nanowire and Microcantilever、Transmission electron Microscopy