スケジュール 3 10:00 〜 10:20 [2-25] 招待講演：反応性プラズマを援用したセラミックス材料のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術の開発 *山村 和也1 (1. 大阪大学大学院工学研究科) キーワード：機能性セラミックス、反応性プラズマ、単結晶SiC、単結晶GaN、反応焼結SiC、プラズマCVM、プラズマ援用研磨 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証
