粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

講演情報

講演特集:スマートソサエティを支える高機能電子部品材料

講演特集:スマートソサエティを支える高機能電子部品材料

2019年10月22日(火) 15:55 〜 16:45 第 II 会場 (1F、シンポジオンホール)

座長:今中 佳彦(富士通研究所)

15:55 〜 16:15

[2-16] 招待講演:5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料

*柳谷 隆彦1,2,3 (1. 早稲田大学、2. JSTさきがけ、3. 材料研究所)

キーワード:周波数フィルタ、圧電薄膜共振子フィルタ、ScAlN

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