粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

講演情報

講演特集:スマートソサエティを支える高機能電子部品材料

講演特集:スマートソサエティを支える高機能電子部品材料

2019年10月22日(火) 15:55 〜 16:45 第 II 会場 (1F、シンポジオンホール)

座長:今中 佳彦(富士通研究所)

16:15 〜 16:30

[2-17A] c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用

*間島 毅1,3、柳谷 隆彦1,2,3 (1. 早稲田大学、2. JSTさきがけ、3. 材料研究所)

キーワード:ZnO、分極反転多層構造、超音波トランスデューサ

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