スケジュール 0 14:10 〜 14:25 [3-13A] 窒化チタンナノシリンダーアレイへの誘電体層の被覆による耐熱性の向上 ○呉屋 伸哉1、村井 俊介1、田中 勝久1 (1. 京都大学大学院工学研究科) キーワード：プラズモニクス、窒化チタン、原子層堆積法 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証
