粉体粉末冶金協会2023年度秋季大会（第132回講演大会）

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講演特集 » DX/GX時代の電子部品材料開発

DX/GX時代の電子部品材料開発

2023年10月19日(木) 16:20 〜 17:30 第Ⅱ会場 (クローバーホール)

座長:嶋田 勇三(日本実装技術振興協会)

17:20 〜 17:30

[2-23B] 機械学習を用いた薄膜成膜条件の最適化手法の検討

*中村 勇作1、浜本 貴樹1、中川 裕樹1、田中 邦明1、谷口 眞司1、下舞 賢一1、岩崎 誉志紀1 (1. 太陽誘電株式会社)

キーワード：機械学習、薄膜、成膜、SiOF、温度補償膜

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