09:55 〜 10:10
[2-27A] エアロゾルデポジション法による複合膜の組成制御
キーワード:エアロゾルデポジション法、複合膜、複合粒子
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講演特集 » DX/GX時代の電子部品材料開発
2023年10月20日(金) 09:00 〜 10:20 第Ⅱ会場 (クローバーホール)
座長:川口 建二(産業技術総合研究所)
09:55 〜 10:10
キーワード:エアロゾルデポジション法、複合膜、複合粒子
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