14:00 〜 14:15
[2-38A] スパッタ法により作製したNiMn2O4薄膜の結晶構造およびサーミスタ特性
キーワード:サーミスタ、薄膜、温度センサ、剥離、スパッタ法
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一般研究発表 » 電気抵抗材料
2023年10月20日(金) 13:30 〜 14:30 第Ⅱ会場 (クローバーホール)
座長:太田 寛人(同志社大学)
14:00 〜 14:15
キーワード:サーミスタ、薄膜、温度センサ、剥離、スパッタ法
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