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一般研究発表講演 » 粉末，合成

一般研究発表：粉末，合成

2024年11月19日(火) 15:00 〜 16:20 第 II 会場 (2F、会議室 203+204)

座長:勝山茂(大阪大学)

15:55 〜 16:10

[2-22A] AD成膜プロセスにおける膜形成初期および成長過程に関する考察《合成, 物性》

*池端杏樹¹、河村剛¹、松田厚範¹、藤田直幸²、感本広文³、Tan Wai Kian¹、武藤浩行¹ (1. 豊橋技術科学大学、2. 奈良高等専門学校、3. 静岡理工科大学）（※この発表者は優秀講演発表賞の対象者です。)

キーワード：エアロゾルデポジッション法、複合粒子、有限要素法、静電吸着複合法

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