チャージアップ現象と緩和策、その評価

[11P-51] チャージアップ現象と緩和策、その評価

*加藤弘泰²、杉山陽栄¹、村瀬晴紀³、野本豊和¹ (1. あいちシンクロトロン光センター、2. スプリングエイトサービス（株）、3. あいち産業科学技術総合センター)

キーワード：軟X線XAFS、チャージアップ、AichiSR

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