第38回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム

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[2] ビームライン・測定器

[12P] ビームライン・測定器

Sun. Jan 12, 2025 1:00 PM - 3:00 PM [2] ビームライン・測定器 (企業展示・ポスター会場)

[12P-29] NEGコーティングをしたBeCu材真空チャンバー

*和田 薫1、志賀 隆志1、神谷 潤一郎2、諸橋 裕子2 (1. 東京電子株式会社、2. 日本原子力研究開発機構)

Keywords:BeCu、NEG、真空

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